Prior XY-Positioniersystem mit Linearmotoren, HLD Tische mit höchster Genauigkeit
Beschreibung
Positioniertisch mit linear Motor; Mikroskoptisch mit ausgezeichneter Repeatability; integrierte 50 nm Encoder; Versionen für verschiedene inverse Mikroskope erhältlich; OEM Version auf Anfrage; Controller VLD31XYZ empfohlen • Wiederholgenauigkeit: 0,15 µm • Minimale Schrittweite 0,05 µm • Metrische Genauigkeit 0,045 µm • Minimale Geschwindigkeit: 1 µm/sec • Maximale Geschwindigkeit: 300 mm/sec • Verfahrweg: 121 x 81 mm" Wiederholgenauigkeit: 0,15 µm Minimale Schrittweite: 0,05 µm Metrische Genauigkeit: 0,045 µm Minimale Geschwindigkeit: 1 µm/sec Maximale Geschwindigkeit: 300 mm/sec Verfahrweg: 121 x 81 mm
- Optische Instrumente
- Mikroskope und Zubehör
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