SENVAC ANLAGENBAU & KOMPONENTEN GMBH

SenVac verfügt über mehr als 30 Jahre Erfahrung im Bau unterschiedlichster Sputter- und Aufdampfanlagen für Industrie und Forschung. • Inline oder Loadlock sputtern • Aufdampfen per Elektronenstrahl- und Widerstandsverdampfer • Vollautomatisierte Produktion • Anlagen für Entwicklung • Neuentwicklungen gemäß Kundenspezifikation

SenVac liefert Materialien und Sputtertargets in allen Größen und Formen. Dank unseres bewährten Netztwerks an Partnern weltweit sind wir in der Lage, auf eine größtmögliche Auswahl an Materialien kurzfristig zugreifen zu können. Sprechen Sie uns an ! Achtung ! Neben Herstellung und Vertrieb von Haltewannen und Sputtertargets wird SenVac mit Beginn des Jahres 2014 wieder im eigenen Bondshop Targets in bewährter Qualität bonden !

Für viele bekannte Anlagentypen sind Komponenten ab Lager lieferbar, selbstverständlich können auch Komponenten kundenspezifisch gefertigt werden. Wir bieten ein großes Portfolio an vakuumtechnischen Komponenten und Verbauchsmaterialien: • Targetwannen / Halteplatten aus Kupfer • Teflon-Isolierrahmen / Blendenkästen • Vakuumdichtungen • Ventile • Drehdurchführungen • Schichtdickenmesssyteme • Antriebstechnik Darüber hinaus verfügen wir über ein großes Angebot an gebrauchten und generalüberholten Bauteilen: • Vorpumpen • Hochvakuumpumpen • Messtechnik